Технологические маршруты изготовления ИС : лаборатор. практикум по курсам «Маршрут. технология интегр. схем» и «Технолог. процессы микроэлектроники» для студентов специальностей I-41 01 02 «Микро- и наноэлектр. технологии и системы» и I-41 01 03 «Квант. и